传感器单位面积（

，直径

薄膜传感器的有效使用面积规格分别是：

• 直径为3cm的圆

•  

• 直径为3.5cm的圆

•  

   直径为4cm的圆

• 直径为4.5cm的圆

•  

• 直径为5cm的圆

性能指标：

1、动态压电常数：d₃₃=43.94pc/N*cm²

2、动态范围：0~100GPa

3、频率范围：  0~100MHZ

4、电容值：

20um:   560~590pf/cm²

30um:   370~400pf/cm²

           50um:  210~240pf/cm²                       

100um:    100~125pf/cm²

200um:    50~70pf/cm²